Piezoelectric thin films for MEMS
2023
Détails
Titre
Piezoelectric thin films for MEMS
Auteur(s)
Kanno, Isaku ; Ouyang, Jun ; Akedo, Jun ; Yoshimura, Takeshi ; Malic, Barbara ; Muralt, Paul
Publié dans
Applied Physics Letters
Volume
122
Numéro
9
Pages
090401
Date
2023-02-27
Editeur
Melville, AIP Publishing
ISSN
0003-6951
1077-3118
1077-3118
Mots-clés (libres)
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
LC
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Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LC - Laboratoire de céramique
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2023-03-27